暖通空调知识:半导体无尘室系统维护规定
摘要: (1)砂滤机应定期逆时。 (2)预滤应每1-2个月更新。 (3)膜管应视其去除率及产水量做必要之清洗或更新。 (4)树脂混床视比电阻值更新。 (5)精密过滤约每2-4个月更新。 责任编辑:soso
(1)砂滤机应定期逆时。 (2)预滤应每1-2个月更新。 (3)膜管应视其去除率及产水量做必要之清洗或更新。 (4)树脂混床视比电阻值更新。 (5)精密过滤约每2-4个月更新。 责任编辑:soso |
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