日本研制出超小型静电悬浮微电机

2001-6-20 00:00| 发布者: ccbuild| 查看: 252| 评论: 0|来自: 网络

摘要: ^^^^日本科学家最近开发出一种超小型静电悬浮微电机，并计划以该电机技术为基础，开发超小型陀螺仪。新开发出的微电机，使静电引力施加到回转方向上，硅转子则旋转起来。玻璃板与硅转子的间隔约为０．５微米，其 ...

^^^^日本科学家最近开发出一种超小型静电悬浮微电机，并计划以该电机技术为基础，开发超小型陀螺仪。新开发出的微电机，使静电引力施加到回转方向上，硅转子则旋转起来。玻璃板与硅转子的间隔约为０．５微米，其具有检测间隔的静电容量的功能。按照这一变化，施加静电引力进行硅转子自身的姿态控制。通过运行结果表明，构件无磨擦，每分钟旋转１０００次左右。按照间隔的静电容量的检测结果，也可以测定全方向的加速度。用于高精度的姿态控制和方位控制的回转型陀螺仪，以往难以小型化，因而工作时耗电较多。而使用这种静电悬浮微电机来制造旋转型陀螺仪，以上问题迎刃而解。