中国惯性技术学会举办“惯性技术科普知识”系列讲座

　　由惯性技术学会科普部主办、清华大学导航技术工程中心承办的惯性技术科普讲座于近日在清华大学举行。来自北理工、北航、303所、502所和清华大学的教师、科研人员及研究生等共约60人参加了本次讲座。

　　本次讲座邀请了清华大学微米/纳米技术中心的朱荣副研究员作了题为《MEMS传感器及其系统应用》的报告。报告中指出，微机电系统（MEMS）的快速发展只不过十多年的时间，却已在各个应用领域显示出强大的生命力，如硅微压力传感器、硅微加速度计、硅微陀螺、喷墨打印头、数字微镜、生物芯力等等。报告以丰富、翔实的资料展示了MEMS传感器的国内外研究现状，并对军用和民用领域的应用情况进行了回顾和展望，并结合所承担的课题，介绍了微型飞行器的结构、原理和各种机载电子设备等。微型飞行器是一种重要的微器件集成系统，如微加速度计、微陀螺、微磁场计、微高度计、微空速计、CMOS相机、微电机、微能源、智能MEMS蒙皮和微致动器等。

　　导航技术工程中心的韩丰田副研究员作了题为《静电悬浮式微惯性器件＞的报告。基于MEMS技术的静电悬浮式微陀螺/微加速度计是近年来得到广泛关注的一种新型惯性器件，也可同时检测三轴加速度和双轴角速率，具有传统静电悬浮式惯性仪表精度高的潜在优势，在地面和空间领域均有广阔的应用前景。报告首先回顾了静电悬浮技术的典型应用领域，然后介绍了静电悬浮式微惯性器件的国内外研究现状，并重点对Tokimcc Tnc.&TohokuUniversity、UniversityofSouthampton和清华大学在这方面的研究进展进行了介绍。

　　这次报告会重点介绍了MEMS传感器的应用技术和新型MEMS惯性器件，使大家能够充分了解MEMS技术的发展动态，更好地发掘惯性技术的潜在应用领域，得到了学会广大会员的欢迎。

中国惯性技术学会供稿